PLD 系列中功率準分子激光器
發布時間:2015-05-15 作者:

 

 

 

n產品概述

中功率準分子激光器廣泛應用于科研、工業、醫療等。PLD系列中功率準分子激光器,輸出功率可達30W,單脈沖能量可達550mJ,可用于PLD、微細加工、LDP、材料表面處理、激光退火、光譜分析等。

脈沖激光沉積(PLD)技術是薄膜制備的重要方法之一,目前已經成為材料學研究領域廣泛應用的通用設備。PLD設備通常由準分子激光器和真空腔體組成。PLD 系列準分子激光器為脈沖激光沉積設備配套用激光器,波長193nm248nm308nm351nm全系列可供選擇。PLD 20 輸出能量最大可達550mJPLD 150最高重復頻率可到150Hz,用戶可以根據需要選擇。

 

n產品特點

常用波長全系列可供選擇,用戶后期仍可更改

極低的輸出光束發散角,保障聚焦光斑能量密度

采用磁助器激勵回路設計,有效延長高壓閘流管壽命

包含高壓靜電除塵裝置,激光工作氣體壽命長

體積緊湊,節約實驗室空間

 

n技術參數

型號

PLD20

PLD150

介質氣體

ArF

KrF

XeCl

XeF

ArF

KrF

XeCl

XeF

波長(nm)

193

248

308

351

193

248

308

351

最大單脈沖能量(mJ)

450

550

450

300

180

250

180

150

平均功率(W)

7

10

7

5

25

30

25

20

最大重復頻率 (Hz)

20

150

脈沖寬度 (ns)(FWHM

~25

~20

能量穩定性(sigma %)

3

3

光斑尺寸(mm)

(V×H,nominal)

22×6

14×5

發散角(mrad)

(V×H,nominal)

~3×1

~3×1

 

n產品規格

 

PLD20

PLD150

 重量

230kg

200kg

 冷卻方式

Water cooling

 電源要求

220V/50Hz/14A/1 phase

 外形尺寸(L×W×H)

1000mm×450mm×660mm

1300mm×400mm×900mm

 

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